将被干燥物放入密闭容器中排出空气并降低压力干燥方法称为真空干燥法，这种机器称为真空干燥机；与使用一般温暖空气干燥相比，真空干燥机可以使物体干燥快三倍。
真空干燥机的干燥是在封闭的容器中完成的，因此它不受太阳或热空气提供的热量的影响，如暖风干燥。该方法需要某种类型的加热，以防止伴随水分蒸发的干燥物体的温度下降。为了防止干燥物体的温度下降，在将物体放入容器之前提高温度；加热整个容器以利用辐射热来加热干燥物体；用容器中的加热板传导热量加热干燥物体。
真空干燥机迫使窄间隙和管内的压力降低，这使间隙中的水分蒸发得更快。另外，除非烘干物体内部的温度过度下降，否则由于碰撞现象而滞留在狭窄间隙中的水分可能会吹出，这进一步加速了干燥。因此，使用容积足以排出蒸发的水分进行真空干燥的泵可以使任何多孔或甚至类似粉末的物体均匀地从内部全干燥。
如果按先升温加热再抽真空的程序操作，加热的空气被真空泵抽出去的时候，热量必然会被带到真空泵上去，从而导致真空泵温升过高，有可能使真空泵效率下降。
加热后的气体被导向真空压力表，真空压力表就会产生温升。如果温升超过了真空压力表规定的使用温度范围，就可能使真空压力表产生示值误差。正确的使用真空干燥机，应该先抽真空再升温加热。待达到了额定温度后如发现真空度有所下降时再适当加抽一下。
